压电微动平台的改进PI迟滞模型研究

压电微动平台的改进PI迟滞模型研究标题：压电微动平台的改进PI迟滞模型研究摘要：压电微动平台作为一种重要的微纳尺度运动控制装置，其精度和稳定性对于很多应用领域至关重要。然而，由于压电材料特性和系统动力