激光干涉诱导表面微结构对电化学刻蚀InP行为影响的研究

激光干涉诱导表面微结构对电化学刻蚀InP行为影响的研究激光干涉诱导表面微结构对电化学刻蚀InP行为影响的研究摘要：在集成电路和光电子学器件中，III-V族半导体材料已经成为重要的材料之一。电化学刻蚀是