基于节点分析法的MEMS行为级可视化建模与仿真系统的开题报告

基于节点分析法的MEMS行为级可视化建模与仿真系统的开题报告一、选题背景及研究意义MEMS（微电子机械系统）是一种微型化的机电一体化系统，由于其体积小、质量轻、高灵敏度、高精度、低功耗等优点，已经广泛