显影蚀刻去膜DES工艺指导书模板

一.目标：本指导书要求显影、蚀刻、去膜（DES）工位工作内容和步骤。二.范围：本指导书适适用于内层和掩孔法外层显影、蚀刻、和去膜工作过程。三.设备：IML DES线四.材料：碳酸钠、盐酸、双氧水、氢氧