飞秒激光加工SiC的烧蚀阈值及材料去除机理

万方数据第46卷第2I期 2010年11月 JOURNAL OF ENGINEERING 摘要：超短脉冲激光微加工技术以其独特的优势，尤其是对硬脆难加工类宽带隙材料的精密处理，而使其成为微结构加工巾