自检测扫描探针显微镜系统设计的中期报告

自检测扫描探针显微镜系统设计的中期报告一、研究背景自检测扫描探针显微镜（SPM）是一种高分辨率表面形貌测量仪器，用于对纳米尺度下的物质表面形貌进行观测和研究。自检测（Non-contact）扫描探针技