真空系统-小论文题目

真空系统及应用立式热化学气相沉积（水平式、钟罩式）热丝化学气相沉积等离子体增强化学气象沉积(直流、射频；立式，卧式等)微波等离子体化学气相沉积磁控溅射镀膜（直流、射频；立式、卧式等）电阻加热蒸发镀膜电

真空系统及应用 1. 立式 热化学气相沉积 （水平式、钟罩式） 2. 热丝化学气相沉积 3. 等离子体增强化学气象沉积 () 直流、射频；立式，卧式等 4. 微波等离子体化学气相沉积 5. 磁控溅射镀膜 （直流、射频；立式、卧式等） 6. 电阻加热蒸发镀膜 7. 电子束加热蒸发镀膜 8. 射频感应加热蒸发镀膜 9. 反应离子溅射镀膜 10. 多弧离子镀膜 11. 分子束外延 12. 离子溅射镀膜 13. 多靶共溅镀合金膜 14. 空心阴极离子镀 15. 双离子束镀 16. 离子注入成膜法 17. 真空甩带机