真空系统-小论文题目

真空系统及应用立式热化学气相沉积（水平式、钟罩式）热丝化学气相沉积等离子体增强化学气象沉积(直流、射频；立式，卧式等)微波等离子体化学气相沉积磁控溅射镀膜（直流、射频；立式、卧式等）电阻加热蒸发镀膜电