基于显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测系统研究

基于显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测系统研究基于显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测系统研究摘要：MEMS（微机电系统）技术在现代科学技术领域中得到了广泛的应用，它在生物医学、通讯、能源和