子孔径拼接干涉检测非球面光学元件的中期报告

子孔径拼接干涉检测非球面光学元件的中期报告一、研究背景非球面光学元件在现代光学领域中有着广泛的应用，例如天文望远镜、激光束成形系统和半导体光学系统等。为了保证这些光学系统的精度和功能，非球面光学元件必