微电子技术应用基础第二章集成电路的制造工艺

- 第二章 集成电路的制造工艺 - 第九节 淀积工艺 第十节 表面钝化技术 第十一节 隔离技术 第十二节　微电子技术的加工工艺环境 第十三节 衬底材料 