半导体制造栅氧工艺的Q-Time研究及改善方案

中国科技论文在线http://www.paper.edu.cn半导体制造栅氧工艺的 Q-Time 研究及改善方案倪立华1,2，程秀兰1*5101520（1. 上海交通大学微电子学院，上海 200240