硅片的清洗与制绒

- 硅片的清洗与制绒 - 硅片的化学清洗 - 由硅棒、硅锭或硅带所切割的硅片,表面可能沾污的杂质可归纳为三类：①油脂、松香、蜡、环氧树脂、聚乙