切割速度曲线对硅片翘曲度的影响

变速切割速度曲线对硅片翘曲度的影响马玉通（中国电子科技集团公司第四十六研究所  天津  300220）摘要：根据线切割机的工作原理，综合考虑了砂浆中磨料在磨削过程中的变化以及单晶直径的变化，确定了变速