硅氮化反应的平衡及动力学研究

硅氮化反应的平衡及动力学研究硅氮化反应是指硅和氮气在高温条件下发生化学反应，生成硅氮化物。硅氮化物是一种非常重要的材料，具有优异的热导性、电性能、机械性能等，因此在许多领域有广泛的应用。本文将就硅氮化