纳米硅中的磷掺杂与磷硼共掺及掺杂对材料光电性质的调控研究

纳米硅中的磷掺杂与磷硼共掺及掺杂对材料光电性质的调控研究磷掺杂与磷硼共掺以及其他掺杂技术在纳米硅材料中的应用，可以对材料的光电性能进行调控和改善。本论文将从掺杂的机理、材料性质的调控以及应用前景等方面