基于行星差动滚柱丝杠原理的微位移机构研究开题报告

基于行星差动滚柱丝杠原理的微位移机构研究开题报告一、研究背景与意义微位移机构是微纳米尺度精密定位控制技术的基础和重要部分，广泛应用于高分辨率显微、光刻制造、光纤通信等领域。目前，微位移机构已经广泛应用