考虑弹塑性变形特征的单晶硅超精密磨削表面质量预测的任务书

考虑弹塑性变形特征的单晶硅超精密磨削表面质量预测的任务书任务说明单晶硅超精密磨削是制备光学元件和微加工的重要方法之一。超精密磨削过程中，硅晶体发生弹塑性变形，使表面质量得到改善。因此，预测单晶硅超精密