GaAs中子嬗变掺杂热退火效应的沟道分析

GaAs中子嬗变掺杂热退火效应的沟道分析1.引言研究材料的掺杂和退火行为对于材料的性能评估和优化具有重要意义。GaAs作为半导体材料，在电子学、光电子学等领域广泛应用，研究其掺杂和退火行为对其性能的影