微电子工艺要点

微电子工艺要点 一、填空题 晶圆制备 1． 用来做芯片的高纯硅被称为（半导体级硅），英文简称（GSG），有时也被称为（电子级硅）。 2． 单晶硅生长常用（CZ法）和（区熔法