基于金属粒子催化腐蚀法制备硅多孔微结构技术研究

基于金属粒子催化腐蚀法制备硅多孔微结构技术研究摘要本文研究了一种基于金属粒子催化腐蚀法制备硅多孔微结构的技术。该方法基于金属粒子的选择性氧化性能，在一定条件下催化硅表面的腐蚀反应，得到了硅多孔微结构。