超硬材料薄膜涂层研究进展及应用的论文

超硬材料薄膜涂层研究进展及应用的论文摘要：cvd和pvd tin，tic，ti，tialn等硬质薄膜涂层材料已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用，但仍然不能满足许多难加工材料，如高硅铝合金，