蓝宝石衬底基片CMP数值模拟和实验研究中期报告

蓝宝石衬底基片CMP数值模拟和实验研究中期报告导言蓝宝石衬底基片是一种重要的半导体材料，在集成电路、光电子器件等领域具有广泛应用。在蓝宝石衬底基片的制备中，化学机械研磨（CMP）作为一种关键的工艺步骤