湍流型垂直式MOCVD反应器内部流动和传热特性的数值模拟与分析

湍流型垂直式MOCVD反应器内部流动和传热特性的数值模拟与分析摘要MOCVD技术是制备半导体器件的重要方法之一。垂直式反应器是MOCVD技术中最常用的反应器之一。本文利用数值模拟方法研究了湍流型垂直式