热丝化学气相沉积制备微晶硅薄膜的研究的综述报告

热丝化学气相沉积制备微晶硅薄膜的研究的综述报告热丝化学气相沉积（Hot wire chemical vapor deposition, HWCVD）是一种利用热丝加热气体，使其和沉积物表面反应形成薄膜