结合动态蒙特卡洛法与分子动力学研究c面蓝宝石衬底的氮化现象

结合动态蒙特卡洛法与分子动力学研究c面蓝宝石衬底的氮化现象标题：基于动态蒙特卡洛法与分子动力学的氮化蓝宝石衬底研究摘要：氮化蓝宝石（AlN）衬底在光电子器件领域具有广阔应用前景。通过结合动态蒙特卡洛法