集成电路工艺探索论文

集成电路工艺探索论文姓名：刘王飞(宁波工程学院机械工程学院315016浙江宁波)摘要：集成电路工艺技术介绍，发展历史及未来发展趋势。关键词：集成电路工艺分类应用现状发展趋势引言：集成电路工艺(inte