扩散硅压阻式压力传感器差压测量实验报告

扩散硅压阻式压力传感器差压测量实验报告　　实验六扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验　　一、实验目的：二、实验仪器(略)三、实验原理　　在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，形成4个阻