新材料文献综述

文献综述气相沉积技术及其在耐磨涂层上的应用气相沉积镀膜包括三个环节：镀料气化f气相输运一沉积成膜。为研究方便，人们把通 过含有构成薄膜元素的挥发性化合物与气态物质，在固体表面上进行化学反应，且生成非挥