国家标准-氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法-编制说明-送审稿.docx

国家标准《氮化铝材料中痕量元素（镁、锡）含量及分布的测定 二次 离子质谱法》编制说明（送审稿）一、 工作简况1、立项目的和意义半导体产业是信息技术革命的基础，在国家科技战略中具有举足轻重的作用。自上世