硅片表面的几种处理方法和步骤

硅片表面的几种处理方法和步骤 一、 硅片的预处理： （1）硅片切割：根据所需大小，用玻璃刀进行硅片的切割。操作时需要在洁净的环境中，并带一次性手套，以避免污染硅片。先在桌面平铺一张干净的称