氢等离子作用下Fe、Co对金刚石膜刻蚀的研究

氢等离子作用下Fe、Co对金刚石膜刻蚀的研究随着人们对金刚石膜的日益重视，其制备和应用研究也不断深入。金刚石膜具有极强的硬度和耐磨性，广泛应用于航天、航空、工业制造等领域。然而，在使用过程中，因为金刚