电感耦合等离子体增强化学气相沉积法制备多晶硅薄膜的中期报告

电感耦合等离子体增强化学气相沉积法制备多晶硅薄膜的中期报告摘要本中期报告介绍了一种电感耦合等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）制备多晶硅薄膜的实验方法和结果。实验结果表明，采用PECVD方法可以制