薄膜的形成与生长

- 薄膜结构和性能的差异与薄膜形成过程中的许多因素密切相关。因此，在讨论薄膜结构和性能之前，先研究薄膜的形成问题。薄膜的形成过程实质上是气—固转化、晶体生成的过程，它大致可以分为下面几个主要的