huxAAA电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析

电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析第5期机电技术 电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析 张琼 (闽南理工学院,福建石狮362700) 摘要:提出了一种静电梳齿驱动,电容检测的微机械陀螺仪,分析了其工作原