基于MEMS工艺的硅纳米线及其FET制造技术研究的开题报告

基于MEMS工艺的硅纳米线及其FET制造技术研究的开题报告一、选题背景作为集成电路制造技术的重要分支，微纳电子制造技术在当前信息时代的高速发展中扮演着至关重要的角色。其中MEMS技术在生产实践中已得到