TiN模板热压印中的若干关键影响因素仿真分析

TiN模板热压印中的若干关键影响因素仿真分析TiN模板热压印是一种常见的微纳加工技术，被广泛应用于光学器件、生物芯片等领域。然而，在 TiN 模板热压印过程中，存在许多关键影响因素，如温度、压力、时间