Atomx XYZ简单操作流程

Tekmar Atomx XYZ吹扫捕集仪操作规程打开气源，确保钢瓶有气。当钢瓶气体小于2MPa请及时更换。分压控制在0.4-0.7Mpa。打开仪器主机电源，检查超纯水桶内有水（去离子水）及废液桶；