导电锌-锡氧化物靶材及其制备方法与应用

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 CN 113087519 A(43)申请公布日 2021.07.09(21)申请号 202110361835 .X(22)申