纳秒激光对HfO2SiO2高反膜的损伤特性和预处理

纳秒激光对HfO2SiO2高反膜的损伤特性和预处理摘要本文研究了纳秒激光对HfO2SiO2高反膜的损伤特性和预处理。采用激光损伤实验和场发射扫描电镜技术，分析了不同激光能量和不同预处理条件下HfO2S