光学材料的干法刻蚀研究

光学材料的干法刻蚀研究 摘 要：本文对化学材料二氧化硅的干法刻蚀工艺进行研究，运用反应离子刻蚀设备对二氧化硅进行了刻蚀实验，通过对不同工艺条件下二氧化硅的刻蚀速率、均匀性等参数对比，最终得出了二