形核层生长条件对MOCVD生长GaN基外延薄膜的影响综述报告

形核层生长条件对MOCVD生长GaN基外延薄膜的影响综述报告GaN基外延薄膜在光电子、光电子学、功率器件等领域具有广泛的应用前景。MOCVD（金属有机化学气相沉积）是一种常用的GaN外延薄膜生长技术。