磁控溅射法制备薄膜材料实验研究报告

衿实验一 磁控溅射法制备薄膜材料葿实验目地羆 1、详细掌握磁控溅射制备薄膜地原理和实验程序； 袂 2、制备出一种金属膜，如金属铜膜； 罿 3、测量制备金属膜地电学性能和光学性能； 袀