直拉单晶炉设备简介结构ppt课件

- 第二章 直拉单晶炉 - 直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。炉体为一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场。籽