LPCVD法制备纳米TiO2薄膜能效研究及工艺参数优化

LPCVD法制备纳米TiO2薄膜能效研究及工艺参数优化LPCVD法制备纳米TiO2薄膜能效研究及工艺参数优化摘要：纳米TiO2薄膜具有广泛的应用前景，如光电子器件和光催化材料等。本研究采用低压化学气相