调制中频高功率脉冲磁控溅射电源的设计

调制中频高功率脉冲磁控溅射电源的设计 X 摘要：文章指出叠加直流的HPPMS技术有直流部分占空比较高和不可控制2大缺点，在做沉积薄膜实验时无法提供溅射所需的高功率，导致空比较低，溅射效率