铝掺杂6H-SiC晶体拉曼光谱的温度特性研究

铝掺杂6H-SiC晶体拉曼光谱的温度特性研究摘要：本研究通过对掺杂铝的6H-SiC晶体进行拉曼光谱分析，研究了其温度特性。结果表明，随着温度升高，6H-SiC的拉曼峰逐渐向高波数移动，且峰面积逐渐增大