磁控反应溅射氮化钛薄膜特性研究

磁控反应溅射氮化钛薄膜特性研究磁控反应溅射氮化钛薄膜特性研究摘要：氮化钛薄膜具有广泛的应用前景，如光学涂层、防反射膜、传感器等。本论文研究了磁控反应溅射方法制备的氮化钛薄膜的特性。通过改变工艺参数，包