硅锗分子束外延层表面形貌的扫描隧道显微镜研究

硅锗分子束外延层表面形貌的扫描隧道显微镜研究硅锗分子束外延（MBE）是一种常用于制备硅锗材料的方法。在MBE过程中，硅和锗原子被分子束瞄准并在衬底表面沉积，形成硅锗外延层。然而，外延层的表面形貌对其性