基于Kriging模型的热板表面温度均匀性控制

基于Kriging模型的热板表面温度均匀性控制基于Kriging模型的热板表面温度均匀性控制摘要：本文主要研究基于Kriging模型的热板表面温度均匀性控制。通过对热板表面温度的分析，发现温度分布不均