高数值孔径投影光刻物镜的光学设计

高数值孔径投影光刻物镜的光学设计高数值孔径投影光刻物镜的光学设计摘要：光刻技术是集成电路制造过程中至关重要的一项技术，而高数值孔径投影光刻物镜是其核心部分。本文首先回顾了光刻技术的基本原理和发展历程，